測(cè)量范圍 （nm）	峰值波長(zhǎng) （nm）	量   程		主要用途
		輻照度	曝光（輻）量
350—1050	半 寬 400—1000	999 mW/cm2	9999.9 MJ/m2	材料老化
320—400	365	9.99 mW/cm2	999.99 mJ/cm2	印刷、光刻
380—460	420	9.99 mW/cm2	999.99 mJ/cm2	印刷

注：表中所列為常用波段和量程，用戶選購(gòu)儀器時(shí)要首先確認(rèn)工作波段以及量程。用戶也可選擇其它波段，例如峰值波長(zhǎng)為313nm或340nm，但是要提前就主要技術(shù)指標(biāo)與技術(shù)部溝通，雙方確認(rèn)后再簽購(gòu)銷(xiāo)合同。定制產(chǎn)品原則上不予退貨。

3．光輻照度及曝光量精度：±5% （相對(duì)于NIM標(biāo)準(zhǔn)）

光輻射自動(dòng)測(cè)控儀可廣泛應(yīng)用于材料老化、紫外殺菌、光化學(xué)、大規(guī)模集成電路光刻等領(lǐng)域。